Opis izdelkov
Srce proizvodnje čistih prostorov,Polprevodniške vakuumske črpalkeso natančno-zasnovani za izpolnjevanje izjemno strogih zahtev izdelave mikroelektronike. Te črpalke so zasnovane za zagotavljanje popolnoma čistega, stabilnega vakuumskega okolja-brez vibracij, kar je absolutno ključnega pomena za procese, kjer lahko celo mikroskopska kontaminacija povzroči katastrofalno okvaro izdelka.izdelekuniverzalno uporabljajo zasnove,-brez olja in -odporne proti koroziji, pri čemer pogosto uporabljajo specializirane materiale, ki lahko prenesejo agresivne procesne pline. Dosegajo potrebne visoke ravni vakuuma, običajno do 0,001 Pascala, z nastavljivimi pretoki in so zasnovani tako, da kažejo izjemno nizke profile vibracij, da preprečijo poškodbe občutljivih nanostruktur.
Njihova modularna zasnova filozofije omogoča preprosto integracijo v kompleksne komplete orodij in olajša servisiranje, kar je ključnega pomena za zmanjšanje dragih izpadov orodja. Primarna uporabaPolprevodniške vakuumske črpalkeje, kot pove že ime, v industriji polprevodnikov, kjer se uporabljajo v skoraj vseh korakih proizvodnje čipov, od jedkanja in nanašanja do ionske implantacije in litografije. Bistvenega pomena so tudi na povezanih področjih, kot sta elektronska embalaža in proizvodnja fotovoltaičnih celic. Poleg elektronike se te črpalke uporabljajo v strojih za gumo in plastiko za obdelavo visoko{2}}polprevodniških-materialov. Pri pakiranju hrane pomagajo pri razvoju specializirane embalaže za občutljive elektronske komponente. Znotraj namenskih sistemov vakuumskega premazovanja,izdelekso bistvenega pomena za izvajanje postopkov nanašanja-polprevodnikov, ki zahtevajo vrhunsko čistost in zanesljivost. Ko je uspeh vašega procesa odvisen od brezhibnega in neomajnega vakuuma,Polprevodniške vakuumske črpalkeso dokončna in zaupanja vredna rešitev.
|
Osnovni parametri |
typeNumber |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Hitrost črpanja, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Končni tlak, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Hitrost vrtenja, r/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Hrup Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Največja poraba vode, L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Premer vstopa, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Premer izpušne odprtine, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Moč motorja, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Teža glave črpalke, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Priljubljena oznake: polprevodniške vakuumske črpalke, Kitajska polprevodniške vakuumske črpalke proizvajalci, dobavitelji, tovarna
